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ASO-ZTT-2W高精度晶圆调整平台
ASO-ZTT-2W采用3点独立支撑结构，光栅尺闭 环控制，实现Z和RxRy3轴高精度调整，特有解 耦结构设计，尽可能避免调整过程中三轴的串 扰，提高调整精度，工作台面即为真空吸盘， 平面度3μm，可吸附4~10寸晶圆等工件。
应用场景
• 精密加工 • 微电子制造业
• 半导体加工 • 精密测量
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