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NS-XY20Z5-01 AFM专用XYZ三维纳米定位平台
NS-XY20Z5-01是专为AFM应用设计的高精度三维纳米定位平台。针对AFM应用，该运动台具有较大的XY轴行程和较快的 Z轴运动。行程 20/20/5μm ，分辨率0.5/0.5/0.1nm。
典型应用：
• AFM/SPM/SFM
• 光学探针 • 表面检测
• 高密度存储
• 半导体加工
关键词:
XYZ三维纳米扫描台
三维位移台
高精度位移台
电控滑台
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